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DSN-MFC微小氣體質量流量控制器
- 簡介：
相關說明：
標準量程（N2）；0～1，5、10，50，100，200，500，1000sccm；
準精度：±1％F.S； 重復精度：±0.2%F.S
響應時間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec
線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
耐壓：3，10MPa； 工作環境溫度：5～65℃
輸入輸出信號電壓：0～+5.00V(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA
電源：+15V500mA、-15V500mA電連接器：D14pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：約1.0kg
接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ1/16〞Φ1/8.....
VCR接頭:Φ1/4〞.Φ1/8〞........
準精度：±1％F.S； 重復精度：±0.2%F.S
響應時間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec
線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
耐壓：3，10MPa； 工作環境溫度：5～65℃
輸入輸出信號電壓：0～+5.00V(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA
電源：+15V500mA、-15V500mA電連接器：D14pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：約1.0kg
接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ1/16〞Φ1/8.....
VCR接頭:Φ1/4〞.Φ1/8〞........
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